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簡(jiǎn)要描述：光焱量子科技激光掃描缺陷測繪系統激光掃描缺陷影像儀，是激光束誘導電流測試（LBIC）的升級版，利用波長(cháng)能量大于半導體能隙大的激光束，照射在半導體后產(chǎn)生的電子-空穴對，通過(guò)快速的掃描樣品表面，獲得影像分布，可以得到內部電流的變化來(lái)了解分析各種的缺陷分布，幫助分析樣品制備質(zhì)量以及幫助工藝改進(jìn)。
產(chǎn)品型號： LSD4
所屬分類(lèi)：光焱量子效率分析儀
更新時(shí)間：2023-08-03
廠(chǎng)商性質(zhì)：經(jīng)銷(xiāo)商
| 品牌 | 其他品牌 | 應用領(lǐng)域 | 醫療衛生,化工,生物產(chǎn)業(yè),能源,電子 |
|---|
激光掃描缺陷影像儀，是激光束誘導電流測試（LBIC）的升級版，利用波長(cháng)能量大于半導體能隙大的激光束，照射在半導體后產(chǎn)生的電子-空穴對，通過(guò)快速的掃描樣品表面，獲得影像分布，可以得到內部電流的變化來(lái)了解分析各種的缺陷分布，幫助分析樣品制備質(zhì)量以及幫助工藝改進(jìn)。
| 型號 | 項目 | 規格 |
|---|---|---|
| 1-1 | 激發(fā)波長(cháng) | a. 405 ± 5 nm（高可擴充至 4 個(gè)雷射） b. 多波長(cháng)切換設計 c. 可軟件控制輸出波長(cháng) |
| 1-2 | 激光光點(diǎn) | a. TEM00 光斑 b. 單一波長(cháng)光斑 < 100 um c. 全系列波長(cháng) < 200 um |
| 1-3 | 掃描范圍 | a. 掃描面積：10 cm x 10 cm b. 可客制超過(guò) 16 cm x 16 cm之掃描范圍 |
| 1-4 | 掃描分辨率 | a. 掃描分辨率 - 10 um, ? 20 mm x 20 mm - 50 um, ? 100 mm x 100 mm b. 掃描頻率 - 10 Hz, 25 Hz及 50 Hz - 10 Hz, ? 4,000,000 像素 c. 可由軟件設定掃描分辨率 |
| 1-5 | 訊號量測模塊 | a. 16 bit A/D 解析能力 b. S/N 可達>1000 以上 c. 超低噪聲放大器模塊 |
| 1-6 | 量測時(shí)間 | a. <1 mins (For 20 mm x 20 mm with 50 um resolution) b. <13 mins (For 160 mm x 160 mm with 50 um resolution) |
| 1-7 | 尺寸 | 60 cm x 60 cm x 100 cm |
| 1-8 | 測量分析軟件 | a. 激發(fā)波長(cháng)切換 b. 雷射功率調整 c. LBIC 3D 圖示 d. 2D 剖面分析（電深寬度比） e. 光電流回應分布分析（搭配長(cháng)波長(cháng)激光器） f. 數據保存與輸出功能 |
| 1-9 | 計算機系統 | a. x86 兼容計算器包含屏幕鍵盤(pán)與鼠標 b. 微軟操作系統 |
| 1-10 | 選購項目1： 連續光雷射 | a. 可添加 375 nm/ 450 nm/ 520 nm/ 638 nm/ 650 nm/ 780 nm ± 5 nm b. b. 小功率：50 mW c. TEM00 輸出 d. 功率輸出穩定度：<2 % |
| 1-11 | 選購項目2： 外加偏壓功能 | a. 可施加偏壓（0~5 V）（可擴充更大電壓范圍） b. 軟件控制(選配) |
● 可掃描光電流在樣品表面的分布圖像
● 可掃描各光電壓在樣品表面的分布圖像
● 可掃描開(kāi)路電壓與短路電流分布
● 可分析表面臟污。
● 可分析短路區域分布
● 可辨識分析隱裂區域。
● 可分析少數載子擴散長(cháng)度分布 (選配)
● 可做單波長(cháng)量子效率 Mapping
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