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高低溫真空磁場(chǎng)探針臺

高低溫真空磁場(chǎng)探針臺

簡(jiǎn)要描述:高低溫真空磁場(chǎng)探針臺探針臺配備4個(gè)(可選6個(gè)或8個(gè))擁有高精度位移的探針臂,同時(shí)配有高精度電子顯微鏡,便于微小樣品的觀(guān)察操作。探針可通過(guò)直流或者低頻交流信號,用來(lái)測試芯片、晶圓片、封裝器件等,廣泛應用于半導體工業(yè)、MEMS 、超導、電子學(xué)、鐵電子學(xué)、物理學(xué)、材料學(xué)和生物醫學(xué)等領(lǐng)域。

產(chǎn)品型號:

所屬分類(lèi):電磁學(xué)系列

更新時(shí)間:2023-08-04

廠(chǎng)商性質(zhì):經(jīng)銷(xiāo)商

詳情介紹
品牌其他品牌產(chǎn)地類(lèi)別國產(chǎn)
應用領(lǐng)域綜合

 

高低溫真空磁場(chǎng)探針臺是具備提供高低溫、真空以及磁場(chǎng)環(huán)境的高精度實(shí)驗臺,它的諸多設計都是專(zhuān)用的。因此,高低溫磁場(chǎng)探針臺的配置主要是根據用戶(hù)的需求進(jìn)行選配及設計。例如,要求的磁場(chǎng)值,均勻區大小、均勻度大小、樣品臺的尺寸等,均于磁力線(xiàn)在一定區域內產(chǎn)生的磁通密度相關(guān)聯(lián);位移臺還可與磁流體密封搭配,實(shí)現水平方向二維移動(dòng)和樣品臺360度轉動(dòng);除此之外,該探針臺和高精度雙性恒流電源搭配使用戶(hù),可以磁場(chǎng)的高穩定性。因此,該類(lèi)型的探針臺主要依據客戶(hù)的使用情況進(jìn)行設計優(yōu)化。

高低溫真空磁場(chǎng)探針臺探針臺配備4個(gè)(可選6個(gè)或8個(gè))擁有高精度位移的探針臂,同時(shí)配有高精度電子顯微鏡,便于微小樣品的觀(guān)察操作。探針可通過(guò)直流或者低頻交流信號,用來(lái)測試芯片、晶圓片、封裝器件等,廣泛應用于半導體工業(yè)、MEMS 、超導、電子學(xué)、鐵電子學(xué)、物理學(xué)、材料學(xué)和生物醫學(xué)等領(lǐng)域。 

應用范圍:

磁特性測試、微波特性測試、直流、RF特性測試,微電子機械系統,超導電性測試,納米電路的光電屬性,量子點(diǎn)和線(xiàn),高低溫真空環(huán)境下的芯片測試,材料測試,霍爾測試,電磁輸運特性等。

 可選附件:

t 各類(lèi)DC探針、高頻探針、主動(dòng)式探針、電纜線(xiàn)

t CCDC-MOS視頻成像裝置

t Chuck運動(dòng)裝置

t 電磁鐵系統/超導磁鐵系統

t 1Mpa正壓系統升級

t 超高溫升級選件

t 超高真空升級選件

t 各類(lèi)探針夾具

t 屏蔽箱

t 防振桌

t 轉接頭

t 靜音真空泵

 

技術(shù)指標:

高低溫真空磁場(chǎng)探針臺

型號

T8-EM4

T8-EM5

T8-EM7


真空度

真空上等高達10-8Pa

腔體材質(zhì)

無(wú)磁不銹鋼或者鋁合金

磁場(chǎng)范圍

2000Gs @50mm

5000Gs@50mm

1T@50mm


磁場(chǎng)方向

水平(可按用戶(hù)要求設計成豎直方向的)

配套電源

雙性電源±50A

雙性電源±70A

雙性電源±90A


電源穩定性

50ppm(可選10ppm

制冷方式

液氦/液氮制冷/閉循環(huán)制冷機

溫度范圍

5K-325K可選500K

控溫分辨率

0.001K控溫儀相關(guān)

溫度穩定性

優(yōu)于0.1K依賴(lài)于控溫儀

溫度傳感器

硅二管/PT100/CernoxTM

傳感器數量

樣品臺、防輻射屏、探針臂各一個(gè)

樣品臺尺寸(max

Φ50mm,平整度≤7μm

樣品臺固定方式

真空硅脂/彈簧壓片

樣品臺材質(zhì)

鍍金無(wú)氧銅

顯微鏡行程

X、Y平面2*2inch,精度1μm,Z軸行程≥50.8mm

放大倍數

16~100X/20~4000X

真空腔觀(guān)察窗尺寸

1inch

1.5inch

2inch


窗口材料

熔融石英(可選K9、氟化鈣等)

探針臂數量

2、4、6、8可選

探針臂行程

(X-Y-Z)25mm-25mm-12mm可更換

位移精度

10μm /2μm/1μm/0.7μm可選

接口形式

普通真空接頭/三同軸接頭/BNC/SMA

探針直徑

0.51mm

針尖直徑

10μm/5μm/1μm可選

探針材料

/GGB

供電電壓

AC220V 50Hz/60Hz

AC380V 50Hz/60Hz


 



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