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簡(jiǎn)要描述:美國SRS PPR系列過(guò)程檢測系統主要應用:真空在線(xiàn)檢測;高真空成份分析;MOCVD 等在線(xiàn)過(guò)程監控;10mTorr-10Torr 真空度內反應過(guò)程檢測等等
產(chǎn)品型號:
所屬分類(lèi):美國SRS真空檢測設備
更新時(shí)間:2023-08-04
廠(chǎng)商性質(zhì):經(jīng)銷(xiāo)商
品牌 | 其他品牌 | 價(jià)格區間 | 面議 |
---|---|---|---|
產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 | 應用領(lǐng)域 | 醫療衛生,化工,生物產(chǎn)業(yè),制藥,綜合 |
美國SRS PPR系列過(guò)程檢測系統
主要應用:真空在線(xiàn)檢測;高真空成份分析;MOCVD 等在線(xiàn)過(guò)程監控;10mTorr-10Torr 真空度內反應過(guò)程檢測等等
PPR過(guò)程監控系統是過(guò)程監測和診斷的真空檢測儀。兩種不同的進(jìn)氣路徑提供給殘余氣體分析儀(RGA):一路高壓進(jìn)氣模式用來(lái)檢測基本真空,一路分壓模式用來(lái)檢測過(guò)程壓力。壓力減少路徑包含一個(gè)微小孔徑,其目的是使運行壓力工作在0.01,0.1,1或10Torr。 它使待測壓力環(huán)境滿(mǎn)足RGA的工作要求約10-6 Torr。 這種壓力控制系統是由渦輪分子的混合泵和隔膜甭組成。 兩臺泵為無(wú)油工作,不會(huì )污染您的操作系統。
PPR進(jìn)氣接口鏈接到被檢測的過(guò)程檢測系統有幾種方法。 該系統包括RGA,旁通閥和三通,控制器,渦輪泵,隔膜泵,和Windows 軟件程序進(jìn)行數據采集和控制。
該軟件可用于多種模式,包括模擬掃描,直方圖模式,壓力與時(shí)間模式。雙路法拉第杯和電子倍增器檢測器,電子倍增器提供更高的靈敏度和較高的掃描速度。PPR系統出廠(chǎng)時(shí)組裝校準,可便捷的連接到真空系統中。
主要應用:真空在線(xiàn)檢測;高真空成份分析;MOCVD 等在線(xiàn)過(guò)程監控;10mTorr-10Torr 真空度內反應過(guò)程檢測等等
主要性能
0.01, 0.1, 1.0 或 10 Torr進(jìn)口壓力
3 × 10-5 Torr-L/s流量
2秒的響應時(shí)間(0.1Torr)
100、200或300amu系統
現場(chǎng)可替換的電子培增管和燈絲
6個(gè)數量級動(dòng)態(tài)范圍