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簡(jiǎn)要描述：光炎量子效率分析儀光傳感器晶圓測試儀是一款 CIS /ALS / Light-Sensor 晶圓測試儀，它結合了高度均勻的光源和半自動(dòng)晶圓探測器。
產(chǎn)品型號： SG-O
所屬分類(lèi)：光焱量子效率分析儀
更新時(shí)間：2023-08-03
廠(chǎng)商性質(zhì)：經(jīng)銷(xiāo)商
| 品牌 | 其他品牌 | 應用領(lǐng)域 | 醫療衛生,化工,生物產(chǎn)業(yè),能源,電子 |
|---|
SG-O 是一款 CIS /ALS / Light-Sensor 晶圓測試儀，它結合了高度均勻的光源和半自動(dòng)晶圓探測器。高度均勻光源可以提供從 400nm 到 1700nm 的連續白光光譜，以及在許多不同波長(cháng)下具有一定 FWHM 的單色光輸出。探測器可以處理大。200mm 晶圓尺寸和尺寸大于 1cm x 1cm 的單芯片。SG-O 集成了超低噪音熱卡盤(pán)，可提供 -60°C 至 180°C 的溫度范圍，具有快速的升溫速度和穩定性。SG-O 提供您在 CIS / ALS / 光傳感器設計驗證或工藝良率檢查中所需的一切。
特點(diǎn)
從 UV 到 SWIR 的寬光譜范圍
超過(guò) 50mm x 50mm 區域的高度均勻性超過(guò) 98%
超穩定光強度，可維持不穩定性 < 0.2% 長(cháng)達10小時(shí)以上
高光強動(dòng)態(tài)范圍，高達 140dB
200mm ~ 10mm 晶圓或芯片處理能力
用于準確可靠的 DC / CV、RF 測量
穩定的功能顯微鏡系統
整合硬件控制面板
自動(dòng)晶圓裝載機
智能晶圓映射
模塊化卡盤(pán)
-80°C 至 180°C 的寬溫度范圍
* CDA 熱控制技術(shù)，高斜坡率和高 T 穩定性
用于 CIS / ALS/ 光傳感器晶圓測試的超低噪聲
應用
CIS / ALS / 光傳感器晶圓測試
CIS / ALS / 光傳感器晶圓映射和良率檢查
ToF 傳感器測試
激光雷達傳感器測試
InGaAs PD 測試
SPAD 傳感器測試
光傳感器模擬參數測試：
量子效率
光譜響應
系統增益
靈敏度
動(dòng)態(tài)范圍
暗電流/噪聲
信噪比
飽和容量
線(xiàn)性誤差（LE）
DCNU（暗電流非均勻性）
PRNU（光響應非均勻性）
系統設計
SG-O CIS / ALS / Light-Sensor 測試儀（晶圓級）系統圖。高度均勻的光源由 PC-1 控制。光輸出由光纖引導到光學(xué)均化器以產(chǎn)生均勻的光束。顯微鏡和均質(zhì)器由 PC-1 的自動(dòng)平移臺控制，以切換位置和功能。Prober 系統為 MPI TS2000，由 PC-2 控制?？ūP(pán)臺的位置也由 PC-2 控制。熱卡盤(pán)溫度可控制在 -55 ℃ 至180 ℃ ，涵蓋了大部分 IC 測試溫度范圍。光強度由一個(gè) Si 光電探測器和一個(gè) InGaAs 光電探測器通過(guò)皮安電流表檢測和校準。
規格
光譜范圍：400nm 至 1700nm
色溫：3000K 至 5200K
均勻照明面積：42mm x 25mm，工作距離 >200mm
照度均勻度：優(yōu)于98%
短期光不穩定性：≤ 1% 超過(guò) 1 小時(shí)
長(cháng)期光不穩定性：≤ 1% 超過(guò) 10 小時(shí)
DUT與后一個(gè)光學(xué)組件之間的工作距離：≥200mm工作距離
單色光生成：
10nm FWHM 中心波長(cháng)：420nm, 450nm, 490nm, 510nm, 550nm, 570nm, 620nm, 670nm, 680nm, 710nm, 780nm, 870nm
25nm FWHM 中心波長(cháng)：1010nm, 1250nm, 1450nm
45±5nm FWHM 中心波長(cháng)： 815nm
50nm FWHM 的中心波長(cháng)：1600nm
60±5nm FWHM 中心波長(cháng)：650nm
70±5nm FWHM 的中心波長(cháng)：485nm, 555nm
100±5nm FWHM 的中心波長(cháng)：1600nm
帶外透光率 ≤ 0.01%
帶通區峰值傳輸 ≥ 80%
中心波長(cháng)容差：(a) ≤ ±2nm；(b)~(g) ≤ ±5nm
FWHM 容差：(a) ≤ ±2nm；(b)~(g) ≤ ±5nm
可變衰減器：PC 控制的 3-decade 分辨率，至少 1000步
晶圓尺寸能力：200mm、150mm、100mm 晶圓和尺寸大于 1cm x 1cm 的單芯片
晶圓處理：?jiǎn)尉A，手動(dòng)進(jìn)料型
半自動(dòng)化：一步手動(dòng)對準教和自動(dòng)模步進(jìn)
XYZ 平臺
卡盤(pán) XY 載物臺行程：210mm x 300mm
卡盤(pán) XY 平臺分辨率：優(yōu)于 0.5um
夾頭 XY 平臺精度：優(yōu)于 2.0um
卡盤(pán) XY 平臺速度：慢：10 微米/秒，快：50 毫米/秒
Chuck Z 載物臺行程：50mm
Chuck Z 平臺分辨率：0.2um
卡盤(pán) Z 平臺精度：±2.0um
Theta 平臺
Theta 載物臺行程：± 5 度運動(dòng)范圍
Theta 分辨率：優(yōu)于 0.01 度
Theta 精度：0.1 度
卡盤(pán)
卡盤(pán)平整度 ≤ 10um
卡盤(pán)熱操作：-60°C 至 200°C
25°C 時(shí)的卡盤(pán)泄漏： 25°C 時(shí)在 10V 偏壓下每個(gè)電壓 ≤ 20fA
卡盤(pán)剩余電容 ≤ 95fF
探針卡
探針卡尺寸：4.5 英寸至 8 英寸長(cháng)
探針卡座與壓板之間的間隙：≥ 7.5mm
微型腔室
EMI 屏蔽：在 1kHz 至 1MHz 范圍內 ≥ 30dB
系統交流噪聲：≤ 5mVp -p
微型定位器
顯微鏡
隔振臺
光譜范圍：400nm 至 1600nm
波長(cháng)分辨率：400nm 到 1000nm 增加步長(cháng) < 1nm；1000nm 到 1600nm 增加步長(cháng) < 3.5nm
校準：NIST 可追溯校準證書(shū)
主要表現
SG-O 系統的操作軟件。對于高度均勻光源控制軟件，SG-O 提供光源系統控制和光強測量。提供了各個(gè)光學(xué)組件的 Labview 功能調色板、驅動(dòng)程序 / DLL 文件。該軟件控制所述平移臺以促進(jìn)照射大是在零件的設備。集成鏈接的整合包括發(fā)送 / 接收命令，例如芯片步進(jìn)、芯片對齊 / 探測等。
地址：北京市房山區長(cháng)陽(yáng)萬(wàn)興路86號-A529
郵箱：oict_bj@163.com
傳真：010-59470086
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